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VIISta® 900XP

VIISta 900XP 系统为中电流离子注入市场提供所需的精确度、清洁度、生产效率及生产价值。此外,VIISta 900XP 可扩展能量范围,在 300keV(+ 电荷状态)和 600keV(++ 电荷状态)下运行,使其在次级百万电子伏特井应用方面,比传统批次高能量工具具有更高的生产效率。

可重复的精确注入角度控制,对于先进器件量产制造中的精确掺杂工艺至关重要。 维利安定位系统(Varian Positioning System,VPS)可在整个全应用包络的控制方面达到合一水平。

VIISta 900XP 可提供业内最干净的波束线。过滤器磁铁可从根源去除大部分不需要的混合物质。在分析器磁铁和质量分析孔径区域,双磁铁架构可将晶圆与波束所产生的金属、粒子和污染物隔离。

VIISta 900XP 可提供领先业界的 500WPH 机械生产能力。单晶圆平行路径晶圆搬运、快速波束设定时间和更高波束电流(选配),使该工具在本已出色的总体生产效率基础上更进一步。