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Vantage® Astra™ DSA

Vantage Astra DSA(动态表面退火)系统是应用材料公司首个采用激光技术的退火工具,可提供无以伦比的性能,满足器件尺寸持续缩放所必需的先进硅化工艺需求。Astra DSA 技术基于应用材料公司在快速热处理 (RTP) 市场的领先优势,扩展了公司的退火产品组合,进入新兴的毫秒退火细分市场。应用材料公司的 Vantage Astra DSA 为客户提供了未来几代器件制造所必须的退火性能与控制。

Astra DSA 系统在设计时充分考虑了生产效率、设备紧凑度和可靠性,具有极佳的拥有成本优势,可提供所需的生产价值,这对此类退火工艺而言至关重要。

该系统的激光器可在一毫秒内将晶圆表层顶部的几个原子层加热到 1000°C 以上,升温速率为每秒 1 百万摄氏度。瞬间从低至 100°C 的预热状态快速加热到{0}超高温状态,并实现类似的快速冷却,这一能力可显著减少源极/漏极缺陷的形成,这类缺陷会带来漏电流风险,并可能降低成品率。

Vantage 平台可采用两个 Astra 腔室的配置,也可采用一个 Astra 腔室加一个 RTP 腔室(包括 Radiance®/Plus 或 RadOx™)的混合配置。