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iSystem 控制器

应用材料公司的 iSystem 控制器是业界唯一的晶圆制造厂务解决方案,可优化晶圆制造厂务的资源消耗,而对工艺或产能无任何风险。许多客户在安装 iSystem 控制器后实现了快速投资回报。

在监视设备运行的同时,应用材料公司的 iSystem 控制器可收集用于生成资源消耗报告、温室气体排放报告以及其他环境因素报告的有价值数据。iSystem 控制器占用空间小,每个控制器均能够支持多达四台设备,并可轻松安装到应用材料公司和非应用材料公司的 200mm 和 300mm 工艺设备上。该控制器的安装量已超过 1,000 套,制造商普遍反映投资回报快。

功能特性

  • 易于安装到新的和现有的晶圆制造厂

  • 在设备或晶圆制造厂务层面上可配置

  • 失效安全协议

  • 真正的晶圆制造厂和晶圆制造厂务同步

  • 智能空闲模式

福利

  • 将能源相关成本减低 ~20%

  • 实时连接到工艺设备

  • 无需改变设备即可打造绿色环保设施

  • 提供持续的温室气体排放报告

  • 2 秒内即可从空闲状态恢复到工艺状态燃料流量