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APPLIED TOPMET™ CLEAR系统

热蒸发舟蒸镀系统加上在线TopCoat系统,适用于铝和氧化铝柔性阻隔及有机表面涂层,有无高功率等离子体辅助沉积均可。

适用于有机表面涂覆的两种先进氧化铝制程与选项

  • 在PET基膜上生产15至20纳米薄的透明阻隔膜涂层的同时,AlOx-ECON制程也将资金成本降到最低
  • AlOx-HAD(Hollow Cathode Activated Deposition 空心阴极反应式沉积)制程是与德国的弗劳恩霍夫有机电子学、电子束与等离子科技研究所(Fraunhofer Institute for Organic Electronics, Electron Beam and Plasma Technology,简称FEP)共同开发而来,采用一种等离子体辅助沉积,通常在具有“如玻璃般”氧化铝膜层透明度的各种塑料包装薄膜上,沉积10纳米薄、具备优越阻隔性能的膜层。

这两种制程与应用材料公司强大的专利蒸发舟设计、卷绕系统和在线控制系统相结合,对层厚加以监控。这些创新共同产生了均匀化一的、具有更高阻隔性能及更高透明度的氧化铝膜层。