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应用材料公司PECVD5.7

  • 高沉积速率(>500Å/分钟 微晶硅薄膜) 可以提高生产力;
  • 优化的沉积均一性可以提高电池转化效率;
  • 设备平台已经在实际生产中得到验证,具有高正常运行时间(>90%)和杰出的可靠性。

应用材料公司PECVD(等离子加强化学气相沉积)5.7系统可以在5.7平米的玻璃基板上沉积硅薄膜发电层,制造出全世界最大的薄膜太阳能电池。PECVD 5.7系统源自应用材料公司业界领先的用于TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)制造的AKT系统,它的性能在全球800多台已经安装的设备上得到了验证。

应用材料公司PECVD5.7系统是一个单基板工艺处理系统,拥有7个独立的反应腔,围绕在一个中央传送组件周围。它的非晶硅和微晶硅沉积反应腔都是独立的,可以避免多结电池技术中吸收层之间的交叉污染。