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Aeris™-Si

Aeris-Si 是一套用于晶圆厂次洁净室前级管道清洁的综合解决方案,可管理二氧化硅负载并延长泵的使用寿命。该解决方案支持高流量正硅酸四乙酯 (TEOS) 工艺,实现最高沉积速率和产能,同时泵的使用寿命从 1 个月延长至 12 个月甚至更久,从而一年不到即可收回投资。该系统在清理时等离子体是在前级管道中,所有工艺参数均工作于正常范围内,从而不会对晶圆鉴定数据产生影响。

Aeris-Si 工艺在泵输入口前收集二氧化硅粉末。通过运用三氟化氮等离子技术,该系统将固态二氧化硅颗粒转化为对泵有利的四氟化硅气体,从而防止固态废物积聚在泵内。

功能特性

  • 专有的捕集阱设计,可在沉积过程中收集固态废物并在腔室清洁过程中将其清除
  • 将固态二氧化硅转化为气态四氟化硅,减少前级管道和泵中颗粒积聚
  • 智能化操作的工具界面
  • 数据收集与报告 —— 可与客户监控系统衔接

福利

  • 对于高流量 TEOS 系统,泵的使用寿命从 1 个月延长至 10 个月以上
  • 实现前级管道和泵的最短停机时间和最低维护成本
  • 增加 7% 以上的正常运行时间
  • 在沉积阶段最大程度提升整体晶圆良率
  • 使高流量 TEOS 工艺达到最高产能(18G/分钟/侧)
  • 容易接入现有排气管路,只需要连接电源、冷却水和清洁气体
  • 8 个月内实现投资回报