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Aeris™-G 等离子减降系统

Awareness of global warming is increasing, and the regulatory push to effect reduction is in full swing. Recognizing this, Applied Materials continues to search for proactive, cost-effective ways of reducing high global-warming potential (GWP) of the gaseous chemicals used, which includes perfluorocarbon compounds(PFCs), NF3 and SF6.

应用材料公司的 Aeris™-G 系统是前级泵等离子减降解决方案,相比后级泵减降装置,该解决方案所处理的实际工艺气体量更少且更集中,因此使用的能量更少。在减降过程中,由于 Aeris-G 腔室中较低的氮容量,加上等离子分解,最多可将氮氧化物排放降至接近零的水平。Aeris-G 装置“按需”运转,相比耗能高、连续运转的后级泵减降装置,可进一步降低运转成本。

Aeris-G 系统可安装到每个腔室的泵所在位置内。该系统非常适合安装在现有的设备上,可以轻松接入现有的排气管道,并且仅需要连接电源和超纯水管路即可运转。如果是在新设备上安装,Aeris-G 不仅可以提高减降效率,还可以节省晶圆制造厂的空间、减少水、电、气和排气管路连接,同时最大限度降低安装成本。

功能特性

  • 固态匹配网络;无活动部件

  • Aeris-G 通过专用的界面来控制,由腔室工艺处理来触发操作

  • 过程透明,对泵寿命没有任何影响

  • 可靠性经过验证:>99.9%无故障运行时间

福利

  • 几乎避免了 VOC、COx 和 NOx 排放

  • 对 CF4 的典型破坏去除效率 (DRE) >95%

  • 对 SF6、CHF3、C3F8、NF3、C4F8 的典型 DRE >99%

  • 降低了水电气损耗和拥有成本

  • 相比传统的燃烧水洗式减降,降低了工厂碳排放量