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电子束检视

如今,高像素OLED和LCD显示面板制造业格外强调减少缺陷和工艺控制。应用材料公司的全球首个在线电子束检视(EBR)设备将半导体扫描电子显微镜(SEM)与AKT的大规模真空平台相结合。

自动工艺检测(API)和临界尺寸(CD)测量工具让客户面对最具挑战性的工艺控制规格时有一个精密平台。自动缺陷检测(ADR)模块根据自动光学检测(AOI)坐标记录缺陷,并在能量扩散X射线分析技术(EDX)的帮助下确定出现致命缺陷的根本原因。引入联机电子扫描显微镜(SEM)这一半导体良率提升方法,可使柔性有机发光(OLED)显示屏达到高成品率,并加快提升业界最大基板尺寸的液晶(LCD)显示屏的成品率。