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Vantage®

2012년 말을 기준으로 전세계 600여 곳의 팹에 공급된 Vantage 플랫폼은 열 산화를 위한 RadOx, 스파이크와 소크 어닐링을 위한 RadiancePlus와 Vulcan, 밀리초 어닐링을 위한 Astra로 구성된 단일 웨이퍼 고속 열처리(RTP) 챔버를 지원합니다. 두 개의 챔버로 구성되고 비용과 설치면적을 최적화하도록 설계되었습니다. Vantage 스파이크 어닐링과 열 산화 시스템은 업계 최고의 기술을 자랑합니다.