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MEMS

加速度計やジャイロスコープ、マイクロフォンといった、MEMSデバイスの採用拡大が、携帯機器、車載、医療デバイスマーケットの変革に大きく貢献しています。複数の機能を備えた”コンボ”センサパッケージは、小さなMEMSのデバイスフットプリントで同様の形状において、さらに多くの機能を搭載することができ、MEMSの採用を加速しています。これらのコンボデバイスを可能にするためには、新材料とデバイスの統合スキームが必要です。これらは、消費電力を低減するための厚いエピの成膜とエッチングを含みます...