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Producer® CVD 200mm

MEMSやパワーデバイス、パッケージングを含む、”ムーアの法則を超える”市場における製造へのニーズをサポートするため、先進の200mm化学気相成長テクノロジーへの要求がさらに高まっています。これらの市場をサポートするために開発されたCVDテクノロジーの例として、20μm以上の厚膜、180〜350℃の低温、より高い均一性、低温PECVDシリコンゲルマニウム(SiGe)などの新材料、アモルファルシリコン(a-Si)などがあります。

全世界で3000台以上の出荷実績を誇る、Applied Producerは、業界で最もコスト効率の高いウェーハ処理プラットフォームです。同プラットフォームの革新的なTwin Chamber構造により、最大6枚のウェーハの同時処理が可能で、生産性が向上します。

Producerシステムは、従来のPECVD(TEOSおよびシランベース酸化および窒化)、準常圧CVD膜と同様に、Low-k、歪みエンジニアリング、リソグラフィー可能な膜、熱膜、高温PECVDアプリケーション、SiGeおよびアモルファスシリコンといった、先進のプロセスもサポートしています。

アプライド マテリアルズのProducerは、チャンバ洗浄にセラミックヒーターやチャンバ部品、遠隔プラズマ源を使用し、CVD膜に最も低い欠陥性能を提供します。Producerプラットフォームは拡張性にも優れているため、お客様は同プラットフォームのツールセットを複数のデバイスタイプやプロセスノードで活用することができます。