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光罩

一個光罩包含著一個積體電路的圖案。隨著電晶體越來越小,為了將圖案精確地轉印到矽晶圓上,光罩隨之更為複雜。製作光罩的製程已因此變得更為先進—即使是光罩上細微的缺陷都會影響矽元件的性能。驗證光罩圖案的準確性及零缺陷率至關重要,尤其對於高收益的晶片來說更是如此。