Endura® Cirrus™ HTX PVD | PVD | 圖案化, 導線 | Endura® |
Centris® Sym3™ Etch | 蝕刻 | 圖案化, 導線 | Centris™ |
VeritySEM® 5i 量測 | 量測與檢驗 | 圖案化, 導線 | VeritySEM™ |
Endura® CuBS RFX PVD | PVD | 導線 | Endura® |
Producer® Black Diamond® PECVD | CVD | 導線 | Producer® |
Producer® BLOk™ PECVD | CVD | 導線 | Producer® |
Producer® Nanocure™ 3 UV Cure | | 導線 | Producer® |
Producer® Onyx™ | | 導線 | Producer® |
Endura® Amber™ PVD | PVD | 導線 | Endura® |
CENTRIS® SYM3® Y ETCH | 蝕刻 | 導線 | Centris™ |
Centura® iSprint™ ALD/CVD SSW | ALD, CVD | 導線 | Centura® |
Endura® Volta™ CVD W | CVD | 導線 | Endura® |
Raider® ECD | ECD | 導線, 晶圓級封裝 | Raider® |
Reflexion® LK Prime™ CMP | CMP | 導線, 晶圓級封裝, 記憶體, 電晶體 | Reflexion® |
Reflexion® LK CMP | CMP | 導線, 晶圓級封裝, 電晶體 | Reflexion® |
Endura® iLB™ PVD/ALD | PVD | 導線, 記憶體 | Endura® |
Endura® Versa™ XLR2 W PVD | PVD | 導線, 記憶體 | Endura® |
Endura® CIRRUS™ HT Co PVD | PVD | 導線, 記憶體 | Endura® |
Producer® Pyra® Anneal | 快速升溫製程處理 (RTP) | 導線, 電晶體 | Producer® |