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磊晶

磊晶用於在半導體製造中創造完美的矽晶體基底層,以便在晶體基底層上建構半導體元件、沉積具電性的晶體薄膜,或改變底層的機械特性以改善導電性。


這個最後應用被稱為應力工程,其中磊晶薄膜會形成電晶體通道中晶格的壓縮或拉伸應力。應用材料公司的磊晶技術可滿足所有這些應用,生產高均勻度的薄膜、精準放置摻雜原子、極低的缺陷數量,以及具有選擇性沉積的能力。