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Vantage Radiance™ Plus RTP

應用材料公司所提供的 Vantage RadiancePlus 快速升溫製程系統是業界領先的高生產力解決方案,適用於高產量的一大氣壓快速升溫製程應用,結合世界級的快速升溫製程反應室技術和經生產驗證的低擁有成本機台。此系統採用精簡模組設計,可單機整合出貨,並供快速啟用以減少從裝機到減少投產時間。

此系統利用已成熟建立的 Radiance 反應室技術:蜂巢型燈源、七點溫度測量、100 Hz 封閉迴路回饋的控制頻率和 240 rpm 晶圓轉速。最佳化的硬體設計和溫度控制為離子植入和其他退火製程提供了無與倫比的尖峰退火均勻性;應用溫度範圍非常寬廣,涵蓋從低溫(矽化物退火)到超高溫(晶圓級退火)。