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Vantage Radiance™ Plus RTP

应用材料公司的 Vantage RadiancePlus RTP 系统是业界领先的高生产效率解决方案,也是将世界一流的 RTP 腔室技术与经过生产验证的低拥有成本平台相结合的高产量常压 RTP 应用。它采用流线型设计,便于作为单一机台运输,从而能够更快启动和投产。

该系统利用成熟的 Radiance 腔室技术:蜂巢灯源、七点温度测量、100 Hz 闭环温度控制和 240 rpm 晶圆旋转。其优化的硬件和温度控制为离子注入和其他退火制程提供了无与伦比的尖峰退火均匀性。制程的温度控制范围非常宽,涵盖了低温(例如硅化物)退火到超高温(例如晶圆)退火的全过程。