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PIKA™ PVD

应用材料公司的 Pika PVD 系统是当今业界体积最小、速度最快的单晶圆 PVD 设备,设计用于以较低的拥有成本开展高性能研发和小批量生产。该系统设计紧凑 (1657mm x 755mm x 1822mm),包含脱气、预清洁和溅射沉积模块,并配备高真空机械手传送室和完整的盒对盒自动化功能。它具有很高的可靠性,正常运行时间超过 92%。

该设备支持选择各种 PVD 溅射源,包括直流电、脉冲直流电、射频溅射,其金属或反应性溅射工艺能够共溅射金属和氧化物的合金。D 源磁控管技术的工艺流程经过验证,可在硅、玻璃、有机材料、金属和砷化镓或其他 III-V 化合物的衬底上沉积各种单层膜和多层膜。Pika 系统的即插即用设计可最大程度地减少设置时间。