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APPLIED TOPBEAM™ 1100系统

适用于安全应用的电子束蒸镀系统

汲取超过35年的电子束卷绕镀膜及溅射卷绕镀膜经验,TopBeam™ 1100S系统结合了两种制程领域的优势:

  • 电子束蒸镀拥有所有真空镀膜制程中最快的镀膜速度。与溅射相比,氧化物涂覆速度可以快100至数千倍。为了达到较高的涂覆均匀度,横向和纵向都必须要有一个闭环在线控制系统。与在线测量系统相结合的ESCOSYS™系统就满足了这个需求。多种金属及氧化物都可以使用电子束蒸镀。针对TopBeam™系统规定的材料,个别蒸镀坩埚的种类和形状都有所优化。
  • 溅射制程的镀膜材料种类比电子束蒸镀更加广泛,而金属溅射制程中横向涂覆厚度均匀性则或多或少是固定的。

TopBeam™ 1100S系统是厚氧化物膜层与薄金属膜层堆叠的最优解决方案。单个膜层的涂覆速度可相互匹配,并且两种膜层都可以通过单次涂覆完成。在其他情况下或是更复杂的膜层堆叠,则可以使用反向卷绕系统。