低温多晶硅

尽管这样增加了成本，但LTPS可实现的电子迁移率是现今基于金属氧化物技术的10倍，像素和像素密度也更高，从而使之成为OLED移动设备、超高像素电视、智能手机与平板电脑面板的最佳解决方案。大规模LTPS等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备的引入将助力领先的面板制造商把LTPS技术用于更大的基板，从而降低这些显示面板的成本。