如今，高像素OLED和LCD显示面板制造业格外强调减少缺陷和工艺控制。应用材料公司的全球首个在线电子束检视(EBR)设备将半导体扫描电子显微镜(SEM)与AKT的大规模真空平台相结合。
目前用于显示面板缺陷检验的在线自动化光学缺陷检测工具，在区分致命与非致命缺陷或分析缺陷系统性根本原因方面，不及扫描电子显微镜(SEM)有效。在使用应用材料公司的电子束检视(EBR)设备之前，对显示面板进行SEM分析要打碎玻璃基板，然后在显微镜下单独检视每一块碎片。...
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