液晶显示面板(LCD)制造商在生产的很多阶段都会对面板进行检测，以将良率最大化、废弃最小化、优化设备利用率及监测制造过程。在完成制造的阵列阶段，每块面板上数百万计的晶体管的性能都要逐一检测，此外还要检查集成驱动功能。这一电子检测称为“阵列检测”。
AKT EBT TFT阵列测试设备以最小的机械运动，实现高可靠性、较短的计划停机时间和低运行成本。电子束阵列测试设备的特征在于，通过几个平行的电子束迅速地进行大面积定位检测，从而实现快速测试。终极的电子束微小尺寸与精确定位使超高分辨率测试成为可能，...
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