Today's manufacturers need a rule integration framework to facilitate quicker and better operational decisions. Accurately modeling...
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While monitoring tool operation, the Applied iSystem controller collects valuable data that can be used to generate resource consumption...
SmartFactory Rx Knowledge Advisor converts operator know-how and experience into process understanding and stability.
In a factory environment, it is imperative for maintenance managers to have real‐time equipment data and flexible scheduling...
Having an inadequate MCS solution impacts throughput and cycle time. Any interruption in the automation system caused by MCS reliability...
In today’s complex manufacturing environment, you need a way to apply your experience and expertise when running factory systems—systems...
When semiconductor manufactures produce wafers in a factory, they often come up against a lack of process capability or unexpected...
SmartFactory MES FACTORYworks+ is an out-of-the-box manufacturing execution system developed for semiconductor back-end and...
You have been using PROMIS for many years—but are you taking advantage of recent releases? PROMIS continues to provide up‐to‐date...
150mm와 200mm에도 사용할 수 있는 일체형 CMP 후속 Mesa 클리너는 효과적으로 슬러리를 제거해서 잔류물 생성을 방지하고 입자와 워터마크를 최소화합니다. 구리 다마신 응용 분야의 경우에는 빠르고 효과적이고 워터마크가 없는 건조를 위한...
Manufacturers are striving to maintain uninterrupted software system availability because unscheduled downtime can cripple production,...
지속적인 공정의 미세화로 소자의 성능이 새로운 수준으로 업그레이드되고 있습니다. ALD 기술은 점점 단계 수가 늘고 있는 DRAM, 3D NAND, 로직 FinFET 제조에서 필수적인 기술입니다. ALD로 달성되는 등각성과 균일한 박막 두께가...
Applied OnDemand™ 서비스를 통해 고객은 어플라이드 머티어리얼즈 장비에 대한 현장 기술 지원을 주문할 수 있습니다. 이 서비스는 교육을 받고 최고 품질의 서비스를 제공할 수 있는 Applied-certified 엔지니어가 전문적인...
SmartFactory Rx Operations Productivity reclaims capacity, maximizes throughput and real-time adaptive scheduling.
SmartFactory Rx Predictive Maintenance prevents costly downtime.
집적 회로에서 전류가 흐르는 구리 배선은 유전체(비전도성) 재료로 절연합니다. 반도체 소자가 미세화됨에 따라 소자의 속도를 높일 수 있는 능력은 유전체의 유전 상수(k)에 큰 영향을 받습니다. 이에 따라 이 k 값도 낮추어야 합니다. 칩...
사실상 모든 첨단 DRAM, NAND 플래시, NOR 플래시 제조 시설에서 사용되는 이 시스템은 STI, 게이트, 비트라인, 컨택, 커패시터, 인터커넥트를 위한 업계 최초의 상용 PECVD 박리 가능 비정질 탄소 필름을 형성합니다. 또한...
TSV 제조 공정에는 소자 웨이퍼를 얇게 만들고 유리나 실리콘 소재의 임시 캐리어에 본딩하는 과정이 포함됩니다. 일반적인 접착제는 약 200ºC의 열처리량을 갖기 때문에 이러한 하이브리드 웨이퍼에서 진행되는 모든 후속 공정은 매우 낮은 온도에서...
Black Diamond II 나노 다공성 저 유전율 필름은 45/32nm 구리/저 유전율 인터커넥트를 위한 업계 표준이며 k 값이 약 2.5입니다. 이전 제품인 Black Diamond(k~3.0)는 90/65nm 노드를 위한 업계 표준입니다...
BLOk 필름은 유전체 필름 스택의 커패시턴스를 크게 줄이고 뛰어난 식각 선택비와 전기적 성능을 유지해 지속적인 RC 미세화가 가능합니다. 검증된 표면 준비와 개시층 공정으로 BLOk II를 Black Diamond와 쉽게 통합할 수 있고...
이 시스템은 최대 1.7GPa의 인장 응력을 제공하는 응력 질화물 증착과 낮은 열처리량 요건을 충족하는 UV 경화의 통합 공정을 제공합니다. 동일한 챔버에서 최대 3.5GPa의 압축 응력으로 필름을 증착시킬 수 있습니다. 이 공정은 검증된 실란...
어플라이드 Producer 플랫폼은 전 세계로 수천 대 시스템이 판매되었으며 업계에서 비용 효과가 가장 우수한 웨이퍼 공정 제품입니다. Producer 플랫폼의 혁신적인 트윈 챔버 구조는 최대 6개 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있어 더욱 뛰어난...
어플라이드 머티어리얼즈의 APF™(Advanced Patterning Film) 박리 가능 CVD 하드마스크와 함께 사용하는 APF/DARC 필름 스택은 식각 선택비, CD 제어력, 라인 에지 거칠기를 향상시키는 리소그래피 구현 솔루션을...
Producer Etch는 Twin Chamber와 FOUP가 2개인 이중 로봇 팩토리 인터페이스로 최고 수준의 처리량을 제공하고 단일 챔버 작동과 공정 제어 기능을 구현합니다. 각각의 Twin Chamber는 단일 웨이퍼 또는 이중 웨이퍼...
