Aeris®-G 플라즈마 저감 시스템
Awareness of global warming is increasing, and the regulatory push to effect reduction is in full swing. Recognizing this, Applied Materials continues to search for proactive, cost-effective ways of reducing high global-warming potential (GWP) of the gaseous chemicals used, which includes perfluorocarbon compounds(PFCs), NF3 and SF6.
어플라이드 Aeris™-G 시스템은 프리 펌프 플라즈마 방식의 저감 솔루션으로 실제 공정 가스량을 처리해서 더 적은 에너지를 소비하기 때문에 포스트 펌프 방식의 저감 장치에서 처리되는 것보다 더 낮고 더 농축된 가스량을 사용합니다. 저감 과정 중에 Aeris-G 챔버의 낮은 질소량과 플라즈마 해리가 복합적으로 작용해서 NOx 배출물을 거의 제로 수준으로 최소화합니다. Aeris-G 장치는 "온 디맨드" 방식으로 작동하기 때문에 에너지를 많이 소비하고 연속적으로 작동하는 포스트 펌프 방식의 저감 장치에 비해 운용비가 적습니다.
Aeris-G 시스템은 각 챔버의 펌프 공간 내에 설치할 수 있습니다. 기존 장비 설치 공간에 적합한 이 장치는 기존의 배기관에 잘 맞고 전원과 고순도 공정수만 연결하면 됩니다. 신규 설치 공간에 설치하는 경우에는 Aeris-G 장치로 설치 공간을 절약하고 유틸리티와 배기관 연결부를 줄이고 설치비를 최소화하고 효율을 높일 수 있습니다.
특징
솔리드 스테이트 매치 네트워크, 움직이는 부품 없음
독점 기술의 인터페이스로 Aeris-G를 제어, 챔버 공정으로 작동 시작
공정 투명성, 펌프 수명에 영향을 미치지 않음
검증된 신뢰도 > 99.9% 가동 시간
혜택
VOC, COx, NOx 배출물을 대부분 제거
분해 제거 효율(DRE) >95%, CF4
DRE >99%, SF6, CHF3, C3F8, NF3, C4F8
유틸리티 소비량 감소, CoO 저감
기존의 연소 습식 저감 장치에 비해 공장의 탄소 배출량을 감소
