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多層膜成膜装置

モバイル電子機器のタッチ・パネル・ディスプレイ向けには、透明伝導性酸化物(TCO)、ほとんどはITO膜が、ハードコートPET上にスパッタ成膜されます。スパッタ成膜されたITOエリアの反射外観が、未成膜基板のエッチングされたフリーエリアと一致するよう、高インデックス誘電体と低インデックス誘電体の「インデックス・マッチング」積層が、反応性スパッタ法によって基板上に形成されます。自動車ガラス用のスパッタ成膜ウィンドウ・フィルムの場合、酸化物と金属の積層が、太陽からの熱負荷を軽減します。偽造防止用の変色積層は、TOPBEAM™ 1100で高速に成膜されます。