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APPLIED SMARTWEB™

フレキシブル・エレクトロニクスおよび光学多層膜向けのロール・ツー・ロール・スパッタ成膜システム

  • 研究開発から生産までの完全な拡張性
  • ウェブ幅は400mm(SmartWeb SL)から1400mm(SmartWeb XL)まで
  • 単一パスで3(SmartWeb SL)から12(SmartWeb XL)の蒸着源
  • 平面式および回転式カソード、DCおよびACプロセス
  • 優れた成膜品質
  • インライン計測
  • 基板ロールの迅速なロードおよびアンロード
  • 低い管理コスト