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次世代DRAM
次世代DRAM
傳統的DRAM設計使用控制電路和地址線去環繞每個存儲電容器。為了要讓每個晶片容納更多的位元,領先的記憶體製造商轉而把地址線隱藏在矽晶片的電容器下面。應用材料公司已經贏得這個新設計的挑戰,開發出針對這種新方法所設的齊全製造系統。
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在過去數個技術世代中,DRAM製造商已經開發出在晶片上減少佔用面積,替代單元的佈局。最新設計把地址線隱藏在矽的基板上,讓密度增加百分之五十,然後在晶體管和電容的上面進行組裝,形成一個垂直堆棧。
Centris AdvantEdge Mesa Etch
Centura AdvantEdge Mesa Etch
Centura Conforma
Centura DPN HD Gate Stack
Centura Integrated Gate Stack
Centura Mariana Trench Etch
Endura Extensa TTN
Endura HAR Cobalt PVD
Endura iLB PVD/ALD
Endura Versa XLR W PVD
Producer Eterna FCVD
Reflexion GT CMP Platform
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