先進的微影使能技術

要在現今最先進的晶片裡放入數以億計的電晶體,廠商必須要挑戰物理學原理,使用複雜的微影技術在晶圓上進行壓印,其晶片比人的頭髮還要小一千倍。

應用材料公司正在幫助晶片製造商面對這項重大的微影成形挑戰,擴大了現有微影術儀器的用途,使其可以生成多個晶片。

仿造的解答產品
應用材料公司的微影成形解決方案是為了擴展客戶在過去受到限制的微影技術設備而設計的。創新的雙重圖形技術,例如,提供符合成本效益的方法,在同一空間去印製兩倍的晶體管數量。
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程序控制的產品
超高密度的晶片功能也導致測量和檢查這新的挑戰。應用材料公司已研製高度精密的度量衡系統,以保證圖形的準確性,並使用檢查系統的方法來檢測產量限制的缺陷。
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光掩膜產品
一個晶片是以多層的軟片製造。而每一層的軟片是由一個“罩” 決定其最終的模式,這種模式的準確性是非常重要的。應用材料公司提供專門的蝕刻和檢查制度,以保證完全匹配的光掩膜板晶片設計的規格要求。
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