應用材料公司PECVD 5.7

應用材料公司PECVD（電漿加強化學氣相沉積）5.7系統可以在5.7平方公尺的玻璃基板上沉積矽薄膜發電層，製造出全世界最大的薄膜太陽能電池。PECVD 5.7系統源自應用材料公司AKT領先業界的TFT-LCD（薄膜電晶體液晶顯示器）製造系統，其性能在全球800多台已經安裝的設備上得到了驗證。

應用材料公司PECVD 5.7系統是單基板處理系統，擁有7個獨立的反應室，圍繞在一個中央傳送元件周圍。它的非晶矽和微晶矽沉積反應室都是獨立的，可以避免多結電池技術中吸收層之間的交叉污染。

PECVD系統的優點：

• 高沉積速率(>500Å(A)/每分鐘的微晶矽薄膜) 可以提高生產力。
• 優化的沉積均勻度可以提高電池轉換效率。
• 設備平台已經在實際生產中得到驗證，具有極佳的正常運行時間(>90%）和良好的可靠性。