應用材料 BACCINI SOFT LINE系統

Baccini Soft Line設備平台為一整合系統擁有高度自動化及多項創新網版印刷技術，能夠實現超薄矽晶圓的大規模生產，並保持<0.2%的破片率和>97%的系統可用時間。Soft Line系統每小時機械傳輸量達1440片，單位小時淨產出量達1250片，具備了高生產力，其處理超薄矽晶圓的可靠性也已經被驗證。

網版印刷

Baccini網版印刷技術提供業界最精確的大規模生產對準技術。該系統的高精度攝像頭能夠在高產量下提供±15 µm的位置對準重複性。Soft Line系統傳輸帶晶圓傳輸技術為晶片的裝卸提供了一個“紙捲巢盤”，並能完成矽晶圓的自動定位/方向探測和調整，以及自動檢測並挑出損壞或品質 不良的矽晶圓。此外，可以通過調整控制軟體在幾秒鐘內改變矽晶圓組和生產模式。

雷射邊緣隔離

Baccini高性能的雷射技術能夠完成邊緣隔離，去除電池正面的氮化矽和n型發射極。Baccini雷射技術提供最佳化的距離電池邊緣100-150 µm的隔離線，線寬40-60 µm，線高15-30 µm。和其它系統相比，YAG雷射確保了低成本和高度可靠的技術。雷射劃線系統能提供高產量和傑出的±50 µm對準重複性。該系統不使用有害化學物質，所以無需考慮水處理或化學廢棄物處置。

測試和分類

Baccini高速測試和分類設備每小時能夠處理2200片矽晶圓。它的自動矽晶圓定位、方向探測和調整功能實現了<0.2%的破片率。兩個高速機械手臂能夠把電池分類放入擁有24個電池分類盒的標準元件，通過增加兩個元件可以把分類盒增加到72個。

* Applied Baccini Soft Line data sheet (75kB, PDF)