應用材料ATON PVD 5.7

應用材料ATON PVD 5.7為一連續腔體式物理氣相沉積（PVD）系統，可應用於在面積大至5.7平方公尺的矽薄膜太陽能面板上背電極（back contact）沉積。ATON PVD 5.7系統是基於在玻璃產業應用材料的業界領先設備平臺，可支援使用旋轉式和平板式兩種陰極靶材結構。