解決方案
應用材料公司的軟體解決方案提供360度全視野的營運及製程控制:
- 針對整體的產出、良率與設備狀況,提供持續性的監看,包括當製程與設備改變發生時提供即時通知
- 能依據所定義的維修視窗,提供動態性的預防維修
- 能促動製造執行系統(MES)工作流程,與設備工程系統(EES)策略相結合,確保及執行關鍵的設定,針對有機金屬化學氣項沉積製程在處理最終產品時,做出最周延的監控。
- 針對設備感應到破片或意外狀況產生時,能加速分析根本原因
- 透過除故障模組、通知及制止方式,預防未來破片及意外狀況的產生
- 透過設備感應器上的數據做資料開採,避免非事先排定的停機狀況
優點
- 藉由改善高毛利的良率及整體產出,以提高營收
- 藉由將破片及動態管理維修活動減至最少,以降低成本
- 透過單一平台進行自動化與整合,改善製造品質
- 迅速進行規模製造,易於符合需求
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