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Vantage®

2012 年底時全球有 600 家以上的晶圓廠,Vantage 平台專為我們的單晶圓快速升溫製程處理 (RTP) 反應室服務;該反應室是由熱氧化的 RadOx、尖峰和浸入退火的 RadiancePlus 及 Vulcan,以及毫秒退火的 Astra 組成。此平台可容納兩個反應室,專門設計可達到最佳化的成本和占地面積目標。Vantage 的尖峰退火和熱氧化系統均為這些技術方面的產業領導者。