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VIISta®900XP

VIISta 900XP 為中電流離子植入市場提供所需的精密度、潔淨、生產力以及生產價值。此外,若是個別在 300keV 和 600keV 具備 + 和 ++ 電荷狀態下操作,這樣的擴大能源範圍可讓 VIISta 900XP 在次級百萬電子伏特井應用方面,比傳統批次高能量工具具有更高的生產力。

可重複的精確植入角度控制對於大量製造先進元件的精密摻雜至關重要。 Varian 定位系統 (Varian Positioning System,VPS) 可確保全應用封包的控制程度。

VIISta 900XP 具備業界中最乾淨的光束線。濾器磁鐵能在源頭就移除大多數的混合物質。在分析器磁鐵和質量分析孔徑區域,雙磁鐵架構可將晶圓與波束所產生的金屬、微粒和汙染物隔離。

VIISta 900XP 可提供領先業界的 500WPH 機械生產能力。單晶圓平行路徑晶圓處理能力、快速的波束設定時間和更高束電流的選項,更增添優異的整體工具生產力。