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Vantage® Radiance®Plus RTP

應用材料 Vantage RadiancePlus 快速升溫製程是業界領先的高生產力解決方案,適用於高產量的大氣快速升溫製程應用,結合世界級的快速升溫製程反應室技術和經生產驗證的低氧化鈷機台。此系統採用流線型設計,可單機出貨,並供快速啟用及減少投產時間。

此系統利用已建立的 Radiance 反應室技術:蜂巢型燈源、七點溫度測量、100 Hz 閉迴控制和 240 rpm 晶圓旋轉。最佳化硬體和溫度控制為植入和其他退火提供了無與倫比的尖峰退火均勻性,以及更寬泛的低溫矽化物處理。