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Vantage® Astra™ DSA

Vantage Astra DSA (動態表面退火) 系統是應用材料首款雷射式退火工具,針對先進矽化本質提供無可比擬的功能,能持續微縮元件尺寸。Astra 動態表面退火 (DSA) 技術是建立在應用材料在快速升溫製程處理 (RTP) 市場的領先優勢上,此技術將公司的退火產品組合擴展至新興的毫秒退火市場。Vantage Astra DSA 為客戶提供了未來幾代元件製造所必須的退火效能與控制能力。

Astra DSA 系統在設計時充分考慮了生產效率、設備緊密度和可靠性,並且提供引人注目的持有成本優勢和預期生產價值,而這些正是此類型退火的關鍵因素。

該系統電射可在一毫秒內將晶圓表層頂部的幾個原子層加熱到 1000°C 以上,升溫速率為每秒 1 百萬攝氏度。此產品能從低至 100°C 的預熱狀態瞬間躍升至{0}超高溫度,並且具有相似的快速冷卻功能,能大幅減少形成源極/汲極缺陷,此缺陷會造成漏電流風險並降低良率。

Vantage 機台可配置兩個 Astra 反應室,也可採用一個 Astra 反應室搭配一個 RTP 反應室 (包括 Radiance®/Plus 或 RadOx™) 的混合配置。