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Raider® Mini Quattro ECD

Raider M-Quattro 是高效能的單晶圓電氣化學沉積系統,具備精密、全自動化精密晶圓處理和多製程反應室。以 Raider M-Quattro 平台發展的製程和配方可直接轉移至量產的 Raider GT ECD 系統,從研發階段可即時且無縫地進入全面生產階段。

功能特性

  • 多達四個相同或不同類型的製程反應室,提供最佳化效能
  • 佔地面積小 <4.5m2
  • 最大可處理 300 毫米的基板
  • 提供開放式晶圓閘、標準機械介面 (SMIF) 或晶圓傳送盒 (FOUP)
  • 板載化學處理能力
  • 多達四種不同的化學作用
  • 電鍍的板載電鍍電源供應
  • 提供端點偵測