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Raider® Mini ECD

Raider M 是自動化、高效能的單晶圓 ECD (電氣化學沉積) 系統;這是一套精密、全自動化晶圓處理系統,搭配獨立製程反應室,並且與自動化化學管理系統相容。以 Raider M 發展的製程和配方可直接轉移至量產的 Raider GT 電氣化學沉積系統,從研發階段可即時且無縫地進入全面生產階段。

  • 先進金屬沉積反應室
  • 一個或兩個製程反應室
  • 150、200 或 300 毫米晶圓尺寸
  • 符合 SEMI S2/S8 標準
  • 離子化微型環境
  • 開放式晶圓閘、標準機械介面 (SMIF) 以及晶圓傳送盒裝載台
  • 佔地面積小 (<2m²)
  • 靈活設計
  • 先進製程

應用

  • 電解金屬沉積(銅、金、鎳、焊接合金等)
  • 無鉛電鍍開發
  • 三維晶片堆疊研發