iSystem 控制器
應用材料公司的 iSystem 控制器是業界唯一的晶圓廠解決方案，可最佳化晶圓製造廠務的資源消耗，而對製程或產能無任何風險。許多客戶在安裝 iSystem 控制器後實現了快速投資回報。
在監視機台運行的同時，應用材料公司的 iSystem 控制器可收集用於生成資源消耗報告、溫室氣體排放報告以及其他環境因素報告的有價值數據。iSystem 控制器佔用空間小，每個控制器均能夠支持多達四台機台，並可輕鬆安裝到應用材料公司和非應用材料公司的 200mm 和 300mm 製程機台上。該控制器的安裝量已超過 1,000 套，製造商普遍反映投資回報快。
功能特性
易於安裝到新的和現有的晶圓廠
在機台或下夾層上可配置
失效安全協議
真正的生產廠房和下夾層同步
智能閒置模式
福利
將能源相關成本減低 ~20%
即時連接到製程機台
無需改變設備即可打造綠色環保設施
提供持續的溫室氣體排放報告
2 秒內即可從閒置狀態恢復到製程狀態燃料流量