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iSystem 控制器

應用材料公司的 iSystem 控制器是業界唯一的晶圓廠解決方案,可最佳化晶圓製造廠務的資源消耗,而對製程或產能無任何風險。許多客戶在安裝 iSystem 控制器後實現了快速投資回報。

在監視機台運行的同時,應用材料公司的 iSystem 控制器可收集用於生成資源消耗報告、溫室氣體排放報告以及其他環境因素報告的有價值數據。iSystem 控制器佔用空間小,每個控制器均能夠支持多達四台機台,並可輕鬆安裝到應用材料公司和非應用材料公司的 200mm 和 300mm 製程機台上。該控制器的安裝量已超過 1,000 套,製造商普遍反映投資回報快。

功能特性

  • 易於安裝到新的和現有的晶圓廠

  • 在機台或下夾層上可配置

  • 失效安全協議

  • 真正的生產廠房和下夾層同步

  • 智能閒置模式

福利

  • 將能源相關成本減低 ~20%

  • 即時連接到製程機台

  • 無需改變設備即可打造綠色環保設施

  • 提供持續的溫室氣體排放報告

  • 2 秒內即可從閒置狀態恢復到製程狀態燃料流量