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Applied Vericell™ 太陽能晶圓檢測系統

Applied Vericell™ 太陽能晶圓檢測系統為業界最先進的全自動裸晶圓檢測工具,適合用在結晶矽光伏晶圓與電池生產。 Applied Vericell 系統的多種整合式檢測模組會自動評估每片晶圓,以便找出有瑕疵的晶圓並將其從生產中排除,能夠顯著節省生產成本。Vericell 會測量並報告各式各樣的參數,包括晶圓厚度、厚度差異、翹曲度及電阻率。 此外它也會偵測各種瑕疵,例如鋸痕、邊緣碎裂、倒角損壞、污漬、針孔和微裂。

透過利用光激發螢光光譜 (PL) 尖端技術,Vericell 可以從裸多晶晶圓原料自動預測最終單元效率,平均預測失誤率低於 0.1%。 藉由消除低效率晶圓並辨識需要製程修正的晶圓,Vericell 的客戶可讓其工廠達成整體單元效率良率目標,並增加工廠利潤。 此外,Vericell 的破損率是業界最低  ,檢測 產能則是排行冠軍,每小時可檢測高達  5,400 片晶圓。

Vericell 太陽能晶圓檢測系統結合了高產能與獨特的先進檢測技術, 其合乎 SEMI® 太陽能標準以便 最佳化整條生產線。