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Aeris™-Si

Aeris-Si 是下層前級管道清潔的整合解決方案,可用來管理二氧化矽負載並延長泵浦的使用壽命。該解決方案能達到高流量正矽酸四乙酯 (TEOS) 製程,實現最高沉積速率和產能;同時,泵浦的使用壽命可從 1 個月延長至 12 個月甚至更久,不到 1 年即可收回投資。該系統不會因清潔期間的前級管道電漿而對晶圓鑑定數據產生影響,並且所有製程參數均設置於正常範圍內。

Aeris-Si 製程在泵浦輸入口前收集二氧化矽粉末。該系統採用三氟化氮電漿技術,可將固態二氧化矽微粒轉化為對泵浦更有利的四氟化矽氣體,進而防止泵內積聚固態廢物。

功能特性

  • 獨家捕集阱設計,可在沉積過程中收集固態廢料並在反應室清潔過程中將其清除
  • 將固態二氧化矽轉化為氣態四氟化矽,減少前級管道和泵中微粒積聚
  • 智慧型操作的設備介面
  • 數據收集與報告 —— 可與客戶監控系統相連接

福利

  • 令高流量 TEOS 系統泵浦的使用壽命從 1 個月延長至 10 個月以上
  • 實現前級管道和泵浦的最短停機時間和最低維護成本
  • 增加 7% 以上的正常運作時間
  • 在沉積階段提升至最高整體晶圓良率
  • 使高流量 TEOS 製程達到最高產能(18G/分鐘/面)
  • 可輕鬆接入現有排氣管,只需要連接電源、冷卻水和清潔氣體
  • 8 個月內達到投資回報