skip to main content

Aeris™-G 電漿式廢氣處理系統

全球變暖問題日益受到重視,監管機構也在大力推進相關措施來減輕溫室效應。意識到這一點,應用材料公司正在尋求經濟高效的前瞻性方法,以降低所用氣體化學物質的全球暖化潛勢 (GWP),這些化學物質包括全氟化合物 (PFC) 和 SF6

應用材料公司的 Aeris™-G 系統是採用泵前電漿式廢氣處理解決方案,相比泵後廢氣處理裝置,此方案所處理的實際製程氣體量更少且濃度更高,因此使用的能量更少。在廢氣處理過程中,由於 Aeris-G 反應室中較低的氮容量,加上電漿分解,最多可將氮氧化物 (NOx) 排放降至接近零的水平。Aeris-G 裝置「視需求」運轉,相比耗能高、連續運轉的泵後廢氣處理裝置,可進一步降低運轉成本。

Aeris-G 系統可安裝到每個反應室的泵所在位置內。該系統非常適合安裝在現有的機台上,可以輕鬆接入現有的排氣管道,並且僅需要連接電源和超純水管路即可運轉。如果是在新機台上安裝,Aeris-G 不僅可以提高廢氣處理效率,還可以節省下夾層的空間、減少廠務系統和排氣管路連接,同時最大限度降低安裝成本。

功能特性

  • 固態匹配網絡;無活動部件

  • Aeris-G 通過專用的界面來控制,由反應室製程處理來觸發操作

  • 過程透明,對泵壽命沒有任何影響

  • 可靠性經過驗證:>99.9% 無故障運行時間

福利

  • 幾乎避免了 VOC、COx 和 NOx 排放

  • 對 CF4 的典型分解去除效率 (DRE) >95%

  • 對 SF6、CHF3、C3F8、NF3、C4F8 的典型 DRE >99%

  • 降低了廠務系統消耗和擁有成本

  • 相比傳統的燃燒水洗式減降,降低了工廠碳排放量