アプライド マテリアルズ　20nm時代に向けた画期的なRTP技術を発表

報道資料
2011年6月30日
（日本時間）

アプライド マテリアルズ　20nm時代に向けた画期的なRTP技術を発表

• 今後数世代にわたりRTP分野をリードする革新的デザイン
• RTP装置で初めて歩留りを制約する課題を克服、高性能デバイスのウェーハ当たり生産性を改善

アプライド マテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフォルニア州サンタクララ、会長兼CEOマイケル・スプリンター）は6月29日（現地時間）、ナノスケールのトランジスタ製造をさらに高度化するRTP（高速熱処理）装置Applied Vantage® Vulcan™を投入しました。この装置は現行のRTP技術を飛躍的に向上させ、さらに高いレベルのアニール処理精度と制御を実現します。半導体メーカーはVulcanを採用することで、価値の高い高性能デバイスの製造においてプロセス変動を抑え、歩留まりを高めることができます。

歩留まりを最大限に高めるには、同一デザインのトランジスタはウェーハのどの部分から採っても同じ性能になる必要があります。これは、20nm時代（28nm以降）の大きな課題です。トランジスタはますます微細化して温度不均一の影響を受けやすくなり、しかもロジックチップの多くが大型化しているため、ダイ全面の均一性を保つことが難しくなるからです。直接の放射加熱では温度むらによる「ホットスポット」がパターンウェーハ上に発生しやすく、トランジスタの電気特性が不均一となり、ウェーハ上に性能の劣るチップが多く形成される結果となります。

アプライド マテリアルズのVantage Vulcanは、歩留まり向上の妨げとなる温度のばらつきを克服するため、パターンのない裏面からウェーハを加熱することで、かつてない温度均一性を実現しました。実績あるハニカムランプアレイにより、ウェーハを毎秒200℃以上で急速に加熱した場合でも、ダイ面内の温度差を3℃以内に抑えることができます。

アプライド マテリアルズのバイスプレジデント兼ジェネラルマネージャー（フロントエンドプロダクト部門）、スンダー・ラマムルティは次のように述べています。「Vantage Vulcanは、業界ロードマップを大きく進展させる技術で、温度不均一の原因を克服する新たな標準を確立しています。当社はお客様のニーズに耳を傾け、その最大の難関の1つを打破するソリューションを開発しました。当社の新装置Vantage Vulcanがデバイス製造にもたらすメリットは、すでに大手半導体メーカー各社にも認識されつつあります」
Vantage Vulcanは初めてウェーハ裏面だけの加熱方式を採用したRTP装置であるだけでなく、独自のクローズドループ制御によりウェーハ温度を室温近くから1,300℃までダイナミックに上昇させることができます。このブレークスルー技術により、処理の難しい高反射性の表面を持つウェーハをはじめ、様々なデバイスウェーハをレシピ変更なしで処理することが可能となりました。これは製品ミックスが多様で変化が速いファンドリー環境では重要な特長となります。また、新材料や新しいトランジスタアーキテクチャーの導入も容易です。

アプライド マテリアルズは高度な温度制御技術により、RTP分野のパイオニア兼リーダーとしての立場を確立しました。世界各国のお客様に納入・設置されたアプライド マテリアルズのRTP装置はすでに1,000台を超え、この10年間に製造された先進的マイクロチップのほぼすべてにアプライド マテリアルズのRTP技術が用いられています。

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、先進的な半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造に用いられる革新的な装置、サービスおよびソフトウェアを提供するグローバルリーダーです。アプライド マテリアルズのテクノロジーにより、スマートフォン、薄型テレビ、ソーラーパネルなどの製品が世界中の家庭やビジネスで、より手頃な価格でご利用いただけるようになります。アプライド マテリアルズは、今日のイノベーションを明日の産業へ発展させていきます。

詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。

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このリリースは6月29日米国においてアプライド マテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライド  マテリアルズ ジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。

アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：渡辺徹）は1979年10月に設立。京都、大阪支店のほか14のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポート体制を整えています。

このリリースに関する詳しいお問い合わせは下記へ
アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社
社長室： 大橋 百合　(Tel: 03-6812-6801)
ホームページ： http://www.appliedmaterials.com