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新一代NAND
新一代NAND
当常规的闪存单元进一步按比缩小变得不太现实的时候,很多领先的制造商正在开发一种称之为“三维堆叠NAND”的技术。把多个二维存储阵列堆叠起来,不用减小每一单元的尺寸也能使芯片容量倍增。应用材料公司的创新系统正在帮助闪存制造商实现这一令人振奋的新技术。
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存储器制造商正在开发建造多达16层的三维单元阵列的方法。这种新设计能够提供比常规平面布局大得多的存储密度,但建造这么高的结构也对制造技术和工艺提出了新的挑战。
Centura AdvantEdge Mesa Etch
Centura Avatar Etch
Centura Conforma
Centura Enabler E5 Etch
Producer Eterna FCVD
UVision 4 Inspection
Vantage Astra DSA
应用材料公司Centris AdvantEdge Mesa刻蚀系统
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