新一代逻辑芯片

在今后的几代新技术中，制造商希望从平面结构晶体管向具有多栅的三维晶体管（如鳍式场效应晶体管，即FinFET）发展。这些新设计将使他们能创造尺寸更小、功能更强大的微处理器及其它逻辑器件。应用材料公司与客户一起合作开发出了应对这一新的制造挑战所需要的系统。