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金属栅极晶体管
金属栅极晶体管
晶体管的心脏是它的栅极——这是发生关键性“通-断”开关的区域。在这一区域采用新金属材料能实现更快、更可靠的性能。应用材料公司开发了一整套解决方案,使芯片制造商能够顺利地实现这一重要的工艺转变。
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领先的芯片制造商在用更小且更密集的晶体管设计新的芯片时,必须采用各种不同的材料(如新金属和“高k”介质),以提高芯片的开关速度并控制漏电流。
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