应用材料HCT B5硅片切割系统将单晶硅棒及多晶硅锭切割成薄硅片。B5是当前市场的领导者,在全世界的客户端有超过1000台系统用于生产。
凭借两倍于常规竞争系统的潜在装载量和独特的4位置灵活装载架构,B5赋予了用户更宽的工艺窗口,调节装载尺寸及载床速度,以获得最高的生产量和最佳的成品率,及最终更低的硅片成本。
灵活的装载量、更小的占地面积、极短的切割线及浆料更换时间、极少的切割线断线以及更佳的工艺重复性,这一切都使得B5成为在高可用性是关键的规模化生产环境下的理想选择。
B5系统的设计还针对具有连续可调切割线跟踪、可控加速和减速运算以及低惯性切割线管理的细切割线性能进行了优化。