应用材料ATON PVD 5.7

应用材料ATON PVD 5.7是一台在线物理气相沉积（PVD）系统，用于在面积可大至5.7平米的薄膜硅太阳能面板上沉积背电极（back contact）。ATON PVD 5.7系统是基于在玻璃行业应用材料的业界领先平台，可支持旋转式和平坦式两种阴极配置。