设备生产效率

统计过程控制(SPC)

关键特征

  • 包含标准控制图表的统计分析
  • 产品质量偏差的直接侦测
  • SPC过程失控的自动通知和纠正
  • OCAP制程失控计划的追踪和执行

通过E3 SPC模块，工程师能够快速获得制程失效根本原因分析的明细，并实现纠正措施执行过程的自动化。由于建立在统一的E3平台上，E3 SPC能够通过E3引擎访问到其他E3模块的数据，实现数据钻取和交叉访问。制造企业能够从统计分析和失效数据回溯到制程设备的原始数据，解析失效问题发生的原因。一般来说制程中难以觉察的偏差能够在它们影响产出之前被设别和处理，结果是：更高的良率和质量。

  • 与其他E3模块包括：E3 Run-To-Run (R2R)、E3 错误侦测和分类(FDC)、E3设备运行效能追踪(EPT)和E3高级数据挖掘(ADM)无缝集成，通过探测问题参数和传感器数据识别制程偏差。
  • 工程师得以自动发布制程失控计划。
  • 统计过程控制(SPC)、错误侦测与分类(FDC)、设备运行效能追踪(EPT)和高级数据挖掘(ADM)的数据都存储在一个通用平台上。

效益

  • 快速分析
  • 降低制造成本
  • 提高产品质量
  • 加强制程控制能力
  • 减低拥有成本

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