设备生产效率

E3 设备自动化

关键特征

  • 在统一的平台上提供可配置的软件模块
  • 支持所有的设备连接方式
  • 易于使用的基于工作流的策略引擎
  • 在不同的生产区域间共享数据和逻辑

E3 是一个FAB工厂范围的自动化和设备工程系统平台。它为工程师提供一个易于使用的工作流引擎，使得能够快速变更、客制化和部署工艺控制策略，而不需要复杂的软件开发过程。E3 是唯一一套在一个统一平台上涵盖 statistical process control 统计过程控制 (SPC), fault detection and classification 错误侦测与分类 (FDC), equipment performance tracking 设备生产效率追踪 (EPT), advanced data mining 高级数据挖掘 (ADM), run-to-run control (R2R) 和设备自动化集成的设备工程系统 (EES) 解决方案。

  • 能够快速配置、部署设备和工艺控制系统
  • 定义逻辑策略并通过直接发送指令至设备和工厂系统进行运营管理
  • 实时访问设备信息
  • 提供多层次数据展现功能用于错误根源分析 (RCA)
  • 利用应用材料的设备经验知识和最佳实践 (更多信息请参考 E3 Apps)
  • 提供一个设备数据字典用于快速配置

效益

  • 降低总体拥有成本
  • 提高设备和工艺效率
  • 快速从分析转至控制
  • 减少部署和集成所需时间

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