设备生产效率

过程错误侦测和分类系统

关键特征

  • 设备机能状况的量测和对比分析
  • 工艺过程数据的多变量和单变量分析
  • 动态和静态的集中上下限测量
  • 按制程配方和工艺步骤自动进行统计汇总

E3 过程错误侦测和分类系统(FDC)建立在E3统一平台上。它利用统计分析技术和所配置的控制上下限，持续地对设备参数进行监控，由此对设备机能状况提供主动而快速的反馈。它消除计划外停机，提高设备利用率并减少报废。事实证明，E3 FDC比其他同类系统更快的侦测设备问题，并且是唯一一个建置在同一个平台上和其他各种设备工程系统和高级过程控制系统统一协作的解决方案。

  • 工程师能够对来自生产设备的传感器数据进行分析，侦测异常情况并回溯到设备问题。
  • 它提供的灵活性包括：执行纠正维护、预测设备问题、在失效之前主动地创建维修计划。
  • 在各个工艺区域中，积累并重用分类模型。
  • 提供各种单元和多元分析工具库，以开发各种详细的诊断模型。
  • 与下列系统无缝集成，在各个模块之间共享信息：E3 统计过程控制(SPC)、E3设备效能追踪(EPT)、E3高级数据挖掘(ADM)和E3 run-to-run (R2R)。
    • 降低拥有成本
    • 提高设备效能
    • 减少报废
    • 减少设备和制程错误警报
    • 最小化设备计划外停机和计划停机

更多信息，请发送邮件至: info_fs@amat.com.